４）塗部
　1. 膜厚分布　±3％（端面5mmは除く）
　2. インナーカップ　φ800mm回転式
　3. 回転モーター　ACサーボモータ
　4. カップ回転数　MAX1500rpm（常用800〜1000rpm）
　5. レジスト滴下方法　マニュアルにて供給
　6. インナーカップ上蓋　マニュアルにて開閉
　7. アウターカップカバ　エアシリンダーに依る自動開閉
　8. 回転プログラム　10モード・20ステップ（タッチパネルに依る）

５）ユーティリティー
　1. 電源　AC200V 10KVA　　
　2. 高圧エア　7kg/? 3/8 SUS ソケット
　3. 真空　−660mmHg
　4. 廃液　10Ｌ樹脂製タンク回収
　5. 排気　5?/min

６）オプション
●加圧タンク・タンクBOX　●自動レジストディスペンス　●自動洗浄ノズル
●上蓋自動開閉　●真空ポンプ